|
首 页
|
资讯中心
|
科学研究
|
群英聚首
|
会展信息
|
产业发展
|
新闻
|
学术会议
|
学科简介
|
学者介绍
|
论文
|
专家学者-个人网站
|
研究成果与合作
|
招聘
|
基金申请专题
搜索:
请选择分类
表征技术
学科简介
学术论文
科教新闻
学者介绍
研究群体
学科综述
|
高分子化学
|
高分子物理
|
高分子工程
|
通用高分子
|
功能高分子
|
分子表征
|
结构表征
|
性能表征
|
模拟技术
您所在的位置:
首页
>
科学研究
>
学术论文
> 一种新型反应室的分析与实验
一种新型反应室的分析与实验
一种新型反应室的分析与实验
资料类型:
PDF文件
关键词:
粉体表面刻蚀
硅粉提纯
振动阴极
资料大小:
259K
所属学科:
分子表征
来源:
2007年第六届中国功能材料及其应用学术会议暨2007国际功能材料专题论坛论文集(11.15-11.19,武汉)
简介:
对振动阴极上粉体的运动分析表明粉粒在阴极表面停留的时间与阴极表面倾斜角、气体反吹速度和粉粒大小等有关,其停留时间可达10min以上。用这种等离子反应室对硅粉刻蚀,可在硅粉流经反应室一次即可刻蚀200nm的表面厚度。这意味着纯化硅粉的任务能一次完成。实验结果表明新反应室比常规反应室具有很大的优点。
作者:
尹盛,王敬义,赵亮,赵伯芳
上传时间:
2008-05-16 15:14:28
下载次数:
60
消耗积分:
2
立即下载:
好
1人
中
1人
差
1人
友情提示:
下载后对该资源进行评论,即可奖励
2
分。
报告错误:
1.下载无效
2. 资料明显无价值
3. 资料重复存在
相关评论
共有
0
人发表评论
更多评论
你还没有登录,无法发表评论,请首先
免责声明:本站部分资源由网友推荐,来自互联网,版权属于原版权人,如果不慎侵犯到您的权利,敬请告知,我们会在第一时间撤除。本站中各网友的评论只代表其个人观点,不代表本站同意其观点。
最新上传资料
·
可调的透明导电膜研究进展
·
电子纸显示ITO电极保护层研究及...
·
THz量子级联激光器的材料生长和...
·
退火条件对纳米ZnO 电致发红-橙...
·
无机薄膜电致发光器件中绝缘层材...
·
稀土掺杂氮化镓的发光机理、制备...
·
p-Si TFT栅绝缘层用SiN薄膜的...
·
不同微观形貌所引起的聚二氧乙撑...
·
具有双掺杂发射层白光OLED器件...
·
新型双向传输型区域规整噻吩嵌段...
·
树枝状8-羟基喹啉锌的合成和荧光...
·
梯度掺杂LiF提高电子注入与传输...
·
喷雾热解法合成球形(Y,Gd)BO3:E...
更多>>
热点资料
·
剪切增稠液体的制备及其性能表征
·
Li4Ti5O12/C 复合负极材料的一...
·
有机光电导电材料PEDOT-PSS薄...
·
多孔吸声材料发展现状与展望
·
相变恒温材料六水氯化钙的研究
·
玻璃纤维增强阻燃PC/ABS 合金性...
·
木质素的结构及其改性研究进展
·
有机太阳能电池ITO 电极的光刻...
·
蓝宝石衬底化学机械抛光的机理研...
·
TiO2 介孔光催化剂的制备研究进...
·
固体表面润湿性机理及模型
·
陶瓷坯釉料配方优化系统的设计
·
微晶纤维素的制备及性质研究
更多>>
相关资料
·
冷等离子体中的粉体研究
·
等离子振动反应室的研究
更多>>
互联网站:
中国塑料技术网
|
中国流变网
|
中国化学仪器网
|
化学化工论坛
-
关于我们
-
网站导航
-
商业合作
-
诚聘英才
-
广告服务
-
服务条款
-
建议投诉
-
亚博体育
-
友情链接
Copyright © 2007 Polymer.cn All rights reserved 中国聚合物网 版权所有
本网站所刊登的各种新闻、信息和各种专题专栏资料,未经协议授权,禁止下载使用。
亚博体育
澳门金沙
初刻网
bet365中文
蔡甸在线
亚洲博彩
韩游网
立博官网
博彩平台
正规博彩平台
博彩平台网址大全
太阳城app
文登信息港
个推
爱博
LOL外围下注
十大菠菜台子
伟德体育官网
开元棋牌
澳门新葡京
宁化在线
男士发型网
中国书画网
修水网
邢台职业技术学院
总裁网总裁风云频道
哈尔滨剑桥学院
武汉工程职业技术学院
恒生银行
枣强在线
浙江双金机械集团股份有限公司
站点地图
37琅琊榜网页游戏官网
冬虫夏草